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他转过身,又拿起另一块东西,那是一块方形的玻璃板,上面刻着密密麻麻的图案。
陈光远在边上解释:“这是掩模版。HK-02A一共四层,今天先做第一层。”
刘高工把掩模版装进机器上方的一个卡槽里,固定好。
然后他走到工作台前,眼睛凑到显微镜筒上,开始调整。
微型电机缓缓启动,推动着工作台慢慢前进。
到达某个位置停下,刘高工轻轻转动几个旋钮,眼睛一刻不离显微镜。
“这是在对准。”陈光远低声解释,“把掩模版上的图案,和晶圆上的对准标记对齐。这个步骤最关键,也最费神。”
刘高工调整了足足五分钟,然后长长地吐了一口气。
“行了。”他直起腰,按下一个按钮。
机器发出一声轻微的“嗡”响,一道蓝光闪过,很快又熄灭。
“曝光完成。”刘高工说。
钱兰愣了一下:“这么快?”
刘高工笑了:“曝光就一两秒。麻烦的是前面的对准。”
他松开工作台的锁定,用手轻轻推动一个手柄,工作台缓缓移动了一小段距离。
然后他又低下头,凑到显微镜筒上,又开始调整。
“这是下一个芯片的位置。”陈光远解释,“一块晶圆上,要做上百颗芯片。每做完一颗,就要移动到下一个位置,重新对准,重新曝光。”
吕辰看着刘高工,心里忽然明白了很多事。
刘高工的动作很熟练,但也很慢。
每一次对准,都要花好几分钟。
每做完一颗,他都要直起腰,活动一下脖子,然后再低下头。
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